Вийшла в світ монографія «Еліпсометрія ультратонких плівкових структур» авторів Влоха О.Г. та Коструби А.М.

Еліпсометрія ультратонких плівкових структур

У квітні 2017 року вийшла з друку монографія «Еліпсометрія ультратонких плівкових структур», одним із авторів якої є професор кафедри природничих наук і захисту навколишнього середовища Львівського торговельно-економічного університету, доктор фіз.-мат. наук Коструба Андрій Михайлович. Співавтором монографії є директор Інституту фізичної оптики імені О.Г. Влоха МОН України, доктор фіз.-мат. наук, професор Влох Ростислав Орестович.

Монографію присвячено розробці нових принципів еліпсометрії і еліпсометричних методів вимірювання параметрів ультратонких поверхневих шарів з товщиною меншою 20 нм. На основі встановлених закономірностей еліпсометричного відгуку вирішено проблему незалежного визначення параметрів ультратонких прозорих плівкових структур в умовах сильного кореляційного зв’язку між цими параметрами, що дозволило суттєво підвищити точність отримуваного результату. Запропонована методика розрахунку середньоквадратичної похибки параметрів поглинаючої плівки, яка дозволяє об’єднати аналіз чутливості еліпсометричних вимірювань із кореляційним аналізом та спрощує процедуру оптимізації умов еліпсометричного експерименту. Наведено ряд конкретних прикладів застосування розроблених методів еліпсометрії для дослідження структури та оптичних властивостей ультратонких та нанорозмірно неоднорідних поверхневих плівок.

Для наукових та інженерно-технічних працівників, аспірантів та студентів фізичних спеціальностей вищих навчальних закладів.


Залишити відповідь

Ваша e-mail адреса не оприлюднюватиметься. Обов’язкові поля позначені *

-->